К 1991 году на базе МОМЭТ сформировался мощный центр НИОКР, проводивший более 15% объема научно-исследовательской деятельности всего университета. Под началом Лучинина там работает уже около ста человек. Тогда же МОМЭТ был преобразован в Центр микротехнологии и диагностики.
В начале 1990-х рушится практически вся научно-производственная империя микроэлектроники, созданная в СССР (соотношение того, что было раньше, и того, что есть сейчас, — десять к одному, говорит ученый). В институтских лабораториях, руководители которых привыкли жить за счет госфинансирования, практически не остается людей, работавших в научно-исследовательском секторе. Для ЦМИД тоже наступают трудные времена. Но центр теряет только пятую часть своих работников, причем большей частью тех, кто увидел открывающиеся возможности для создания бизнеса. Привыкший искать и находить заказы, руководитель центра для выживания своего детища заключает контракты на нанесение упрочняющих и декоративных покрытий: на вакуумно-дуговых, ионно-плазменных установках лаборатории тонируют стекла машин, стеклянную посуду и столовые приборы. «Мы были вынуждены этим заниматься, — оправдывается Лучинин, — мне нужно было кормить людей. Они, конечно, получали небольшие деньги, но их хватало на самое необходимое. Я с гордостью могу сказать: у нас не было ни одного месяца и в эти тяжелые времена, чтобы работники не получали свою официальную зарплату». Еще одним источником финансирования становятся образовательная программа «Человек в экстремальных условиях» и технологическая «Научное приборостроение», которые удалось пробить в Комитете по науке и технике.
Виктор Лучинин, директор ЦМИД и заведующий кафедрой микро- и наноэлектроники ЛЭТИ
Фото: Александр Крупнов
Существенно помогают и заказы от западных фирм. Специалисты General Electric, где знали о дореформенных работах ЦМИД в области аналитического приборостроения, привозили для экспертизы на патентную чистоту микросхемы тайваньского и малайзийского производства, многие из которых были скопированы с оригинальных микросхем GE и других известных компаний.
В середине 1990-х в ЛЭТИ обратились специалисты Sandia National Laboratories, — национальной лаборатории министерства энергетики США, ведающей вопросами ядерной и экологической безопасности. Их интересовали и сама технология роста карбида кремния, и высокотемпературные радиационно стойкие датчики температуры и давления на карбиде кремния, необходимые для контроля ядерных объектов, которые к этому времени уже научились изготавливать в ЦМИД. Под этот проект Таирову и Лучинину удалось выиграть грант МНТЦ на 600 тыс. долларов на два с половиной года, огромные по тем временам деньги, которые дали возможность стабилизировать ситуацию в центре. «Люди воспрянули, — вспоминает Лучинин, — конечно, заниматься нанесением покрытий на товары народного потребления было необходимо, но они ведь раньше занимались наукоемкой продукцией, и возвращение к исследовательской работе создало в центре более благоприятный настрой».
Жуки, тараканы и e-текстиль
В конце 1990-х появляются деньги на выполнение программ Министерства образования и Министерства обороны. Военные финансируют разработку высокотемпературных, работающих в условиях повышенной радиации карбидокремниевых приборов — диодов, транзисторных структур. Второе направление их интереса — СВЧ-приборы с высокими импульсными и частотными характеристиками. В 1999 году Виктор Лучинин защищает работу на соискание докторской степени «Структура и форма образования микро- и наносистем широкозонных материалов», подготовленную еще в начале 1990-х, но отложенную до более спокойных времен. Помимо алмазоподобных материалов (политипов карбида кремния и нитрида алюминия) диссертация затрагивает и биологическую тематику, научная работа над которой продолжалась все эти годы. Вскоре появляется возможность достижения НИР в этой области перевести в практическую плоскость: американская компания заказывает в ЦМИД разработку так называемой лаборатории на чипе — миниатюрного прибора для оперативного химического и биологического контроля и диагностики. «Они обратились к нам, потому что мы были тогда и до сих пор остаемся — сейчас, конечно, в условиях России — лидерами в этой области и имеем несколько серьезных отечественных патентов», — рассказывает Виктор Лучинин.