Захватив Египет, Камбис начал готовиться к походу против Нильской Эфиопии. Согласно Геродоту, Камбис вторгся в Эфиопию без достаточных запасов продовольствия и попал в безводную местность; в его армии началось людоедство, и он вынужден был отступить. Камбис вернулся в столицу Египта Мемфис и подавил волнения, которые тем временем начались в этой стране, при этом оскорбив своими действиями религиозные чувства египтян.
Так, он убил быка Аписа. Современники считали, что он подвергся душевному заболеванию.
В марте 522 г. Камбис получил известие о том, что его младший брат Бардия поднял восстание в Персии и захватил там царский престол. Камбис направился в Персию, но умер в пути при загадочных обстоятельствах, не успев вернуть себе власть. Согласно официальной версии, изложенной в огромной наскальной надписи его преемника Дарил I на скале Бехистун (или Бисутун). Камбис еще до прихода в Египет велел тайно убить своего брата Бардию; этим воспользовался некий маг Гаумата, который объявил себя Бардией и 11 марта 522 г. стал царем под видом последнего. К 1 июня 522 г. Бардия-Гаумата получил всеобщее признание у народов Ахеменидской державы. Чтобы удержать покоренные народы от восстаний, он отменил налоги и военную повинность на три года. Его внутренняя политика была направлена на уничтожение привилегий персидской родовой знати и ее господствующего положения в экономике и обществе. Поэтому Бардия-Гаумата пользовался большой популярностью и поддержкой широких народных масс как в самой Персии, так и в других странах Ахеменидской державы.
Однако по современным данным версия о Гаумате — ложная, и к власти пришел настоящий Бардия. 29 сентября 522 г., после семи месяцев царствования, он был убит заговорщиками — представителями семи знатных персидских родов. Один из заговорщиков, двадцативосьмилетний Дарий, стал царем. Дарий был потомком царьков-Ахеменидов, правивших в Порсиде в VII—VI вв. до н.э., до Кира. Сам принадлежа, таким образом, к верхушке персидской зпати, он начал с того, что восстановил ее привилегии, отмененные Бардией.
Сразу после захвата престола Дарием I против него восстала Вавилония. Дарий лично возглавил поход против нее. В декабре 522 г. персы захватили Вавилон, и руководители мятежа были преданы казни. Но пока Дарий был занят карательными действиями в Вавилонии, против него восстали Персия, Мидия, Элам, Маргиана, Парфия, Саттагидия (в совр. Афганистане), сакские племена Средней Азии и Египет. Началась жестокая и кровопролитная борьба за восстановление державы Ахеменидов.
Против восставших в Маршале двинулся сатрап Бактрии Дадаршиш, и 10 декабря 522 г. маргианцы потерпели поражение. За этим последовала резня, во время которой каратели убили 55 тыс. человек. Уже одна эта цифра показывает, что восстание в Маргиане было всенародным движением. В самой Персии под именем сына Кира Бардии соперником Дария выступил некий Вахьяздата, нашедший среди народа большую поддержку. Ему удалось захватить восточноиранские области вплоть до нынешнего Афганистана. Лишь 16 июля 521 г., после пяти битв, полководцам Дария I удалось нанести решающее поражение войску Вахьяздаты. Последний был взят в плен и вместе с ближайшими своими соратниками посажен на кол. Победа над Вахьяздатой была крупным успехом Дария, так как теперь вся Персия оказалась в его руках.
Но в остальных странах продолжались волнения. Пока Дарий был занят подавлением двух восстаний в Эламе, почти вся Мидия оказалась в руках Фравартиша (Фраорта II), который утверждал, что он происходит из рода индийского царя Киаксара. Это восстание было одним из наиболее опасных, и Дарий сам выступил против мятежников. Мидяне потерпели поражение, а Фравартиш попал в плен и был приведен к Дарию, который лично жестоко расправился с побежденным. Он отрезал ему нос, уши и язык и выколол глаз. После этого Фравартиша свезли в Экбатаны и посадили там на кол. В Экбатаны также были доставлены и заключены в крепость ближайшие помощники Фравартита, с которых затем содрали кожу. Мидия, до сих пор находившаяся на равных правах с Персией, была низведена на положение одной из рядовых провинций.
К лету 521 г. полководцы Дария после пяти битв с восставшими смогли установить свой контроль и в Армении. Тогда же отцом Дария был подавлен мятеж в Парфии и в Гиркании. В это время в Вавилоне произошло последнее крупное восстание, которое длилось до 27 ноября 521 г. Менее значительные волнения в государстве все еще продолжались. Теперь, через год с небольшим после захвата власти. Дарий смог упрочить свое положение и вскоре после этого восстановил державу Кира и Камбиса в со прежних границах. Победа Дария над восставшими народами в значительной степени объясняется отсутствием единства между ними. Дария поддерживали полки царской гвардии, армии оставшихся верными Дарию сатрапов и гарнизонные войска, которые, как правило, в каждой области состояли из чужеземцев. Этими войсками Дарий пользовался очень умело, безошибочно определяя, какой мятеж в данный момент наиболее опасен. Не будучи в состоянии вести карательные операции одновременно во всех направлениях, Дарий подавлял одно восстание, а затем ту же самую армию, при помощи которой подавил первое восстание, бросал против других мятежников.