Первоначальной непоследовательной и наивной формой А. был атеизм древнего рабовладельческого об-ва. Наибольшего развития он достиг в Греции и Риме. Греческие философы-материалисты Фалес, Анаксимен, Анаксимандр, Парменид, Гераклит считали, что в основе мира лежит материальное начало, что мир вечен, не создан никем из богов, не нуждается ни в каком творце. Гераклит отвергал религ. представления о неизменности мира, Ксенофан — божественную идею творения. Он подчеркивал, что не бог создал человека, а человек создал бога по своему образу и подобию. Античный А. достиг наивысшего расцвета в учениях Демокрита, Эпикура и Лукреция. Демокрит и Эпикур, исходя из атомистических представлений, считали, что в мире нет ничего, кроме атомов и пустоты. Движение атомов вызвано естественными причинами, совершается без всякого божественного вмешательства. Они отрицали бессмертие души. Демокрит видел причину возникновения религ. верований в страхе людей перед небесными явлениями — громом, молнией, солнечными затмениями и т. п. Эпикур считал основной причиной возникновения веры в богов страх перед смертью. Атеистические традиции греческих материалистов получили дальнейшее развитие в поэме Лукреция «О природе вещей». В этом произведении отстаивался взгляд об объективном существовании материального мира. Античный А. является крупным вкладом в историю общественной мысли. Несмотря на наивность, ограниченность и непоследовательность, он оказал большое влияние на последующее развитие атеистических идей.
В период феодального средневековья религия стала господствующей формой идеологии. Церковная догма, по словам Ф. Энгельса, была исходным моментом и основой всякого мышления. Церковь использовала любые средства для борьбы против А. и свободомыслия, однако была не в силах остановить развитие научной мысли. Позиции религии и церкви подрывали массовые антиклерикальные и еретические движения.
Зарождение и развитие капиталистического способа производства, борьба народных масс и буржуазии против феодализма сопровождались выступлением против феодальной идеологии. Идеологи поднимающейся буржуазии центральным моментом своих учений делают освобождение личности от духовной диктатуры церкви. Итальянский гуманист Пьетро Помпонацци (1462 – 1524) объявил теологию средством обмана простых людей, поставил под сомнение христ. догматы о бессмертии души и загробном воздаянии. Выдающийся мыслитель Дж. Бруно (1548 – 1600) показал беспочвенность веры в триединство бога, христ. таинств, христ. учения о двух природах Христа. В 17 в. критика христ. идеологии поднялась на новую ступень в материалистических учениях Т. Гоббса, Д. Локка, Б. Спинозы, А. Бейля. Вершиной буржуазного атеизма стал французский материализм 18 в. и материализм Л. Фейербаха. Французские материалисты Дидро, Гельвеции, Гольбах, Ламетри показали несостоятельность религии с философской, исторической, научной, политической и нравственной точек зрения. Они считали всякую религию порождением невежества и темноты масс, на почве к-рых стал возможен религ. обман. Религия, по их мнению, приносит непоправимый вред обществу, воспитывает трусость и безнравственность, фанатизм и преступность. Французские материалисты раскрыли реакц. роль церкви и духовенства в борьбе с наукой, просвещением, освободительным движением. Их критика религии не утратила своего значения и сегодня. В. И. Ленин рекомендовал использовать бойкую, живую и талантливую атеистическую пропаганду французских материалистов. Дальнейший шаг вперед в развитии буржуазного атеизма был сделан немецким философом Л. Фейербахом. Он раскрыл земную основу религиозных верований, возникших в результате отчуждения человеческих свойств и перенесения этих свойств в потусторонний мир. Чувство зависимости человека от природы он считал причиной удвоения мира и возникновения религии как «бессознательного самосознания». Он вскрыл гносеологические корни религии, ее родство с идеализмом. На огромном фактическом материале Фейербах показал исторические условия возникновения религии, противоречивость богословских доказательств бытия бога и божественного характера самой религии. Особое место в домарксистском атеизме занимает атеизм русских революционных демократов В. Г. Белинского, А. И. Герцена, Н. Г. Чернышевского, Н. А. Добролюбова, Д. И. Писарева. Революционные демократы ярко и убедительно раскрыли реакционную социальную роль религии в об-ве, сущность фидеизма, отстаивали идею освобождения народных масс от религии. Несмотря на выдающиеся заслуги, домарксистский А. в силу исторической и классовой ограниченности не сумел вскрыть главного — социальных причин возникновения религии. Поэтому он предлагал утопические средства для преодоления религиозных верований. Домарксистский А. был просветительским. Рассматривая религию как следствие невежества и обмана, он считал возможным освободиться от заблуждений путем распространения грамотности и просвещения. Некоторые домарксовские атеисты предлагали заменить старую религию религией «человеческих отношений».