Интересное цифровое микрозеркальное устройство продемонстрировала корпорация Nikon на очередной Международной конференции IEEE по микроэлектромеханическим системам (MEMS). Матрица, предназначенная для новой технологии массового производства полупроводниковых устройств, бьет все рекорды скорости.
В Nikon предполагают, что в фотолитографическом процессе следующего поколения слой фоточувствительного материала на полупроводниковой пластине будет засвечиваться не через теневую маску, а непосредственно, отражаясь от микромеханических зеркал (вроде тех, что сейчас используются в проекторах). Эта технология обещает существенно ускорить и удешевить массовое производство некоторых полупроводниковых приборов, остается только создать достаточно быстрые микромеханические зеркала с приемлемым разрешением и приемлемой суммарной площадью.
Новое устройство усеяно расположенными встык ромбиками - микрозеркалами из алюминия площадью по 16 кв. мкм. Каждый ромбик соединен с гибкой верхней пластиной миниатюрного конденсатора, которая тоже изготовлена из тонкого слоя алюминия, покоящегося между двумя слоями нитрида кремния. Нижняя пластина этого конденсатора расположена на подложке на расстоянии всего 250 нм под верхней. Если на обкладки конденсатора подать напряжение, то верхняя пластина притянется к нижней, прогнется и отклонит прикрепленное к ней зеркальце. Время переключения определяется временем затухания колебаний в новом положении этой механической системы, резонансная частота которой достигает 1,7 МГц. Для затухания колебаний на этих масштабах хватает вязкости увлекаемого пластинами и зеркальцем воздуха: на все про все уходит лишь три микросекунды. Конкурирующим устройствам требуется на это больше десяти микросекунд. ГА
В этом году лауреатами престижной премии Вольфа по химии стали американские ученые: Уильям Морнер (William Moerner) из Стэнфордского университета и Аллен Бард (Allen Bard) из Техасского университета в Остине.
Премия Вольфа в размере ста тысяч долларов присуждается с 1978 года одноименным фондом, учрежденным в 1976 году дипломатом и изобретателем Рикардо Вольфом (1887–1981) и его женой Франциской. Этой награды ежегодно (иногда с перерывами) удостаиваются ученые (математика, физика, химия, медицина, сельское хозяйство) и деятели искусства (живопись, музыка, архитектура, скульптура) "за достижения на благо человечества и укрепление мира". Премия вручается президентом Израиля (в этом году Шимоном Пересом) на специальной церемонии Кнессета (парламента Израиля) в Иерусалиме. Лауреаты премии отбираются международным комитетом, который формируется заново каждый год. По своему значению премия Вольфа нередко считается второй после Нобелевской.
Нынешние лауреаты получили эту почетную награду за работы в области экспериментального исследования поведения одиночных молекул. В частности, Морнер является пионером в разработке технических основ детектирования отдельных молекул спектральными методами в конденсированной (то есть не газовой) фазе. Бард решил ту же задачу электрохимическими методами. Эти техники "наблюдения" дают возможность прослеживать поведение отдельных молекул в реальных условиях (например, внутри живой клетки), что предоставляет ученым ценнейшую информацию о возможном механизме протекания химических реакций, которую чрезвычайно трудно, а подчас и невозможно получить в стерильном окружении "обычного" эксперимента. Кроме того, методы Морнера-Барда наверняка найдут применение в физике (например, при исследовании дефектов в кристаллах) и аналитической химии.
Спектральный инструментарий, основанный на идеях Уильяма Морнера, позволяет в буквальном смысле экспериментально изучать траектории движения отдельных молекул - например, молекулы белка внутри живой бактериальной клетки (причем в некоторых случаях возможны визуальные наблюдения - так называемое "молекулярное кино"; см., например, www.stanford.edu/group/moerner/sms_movies.html). Судя по комментариям самого Морнера, сегодня наибольшей отдачи от его методов можно ожидать именно в областях биохимии и биофизики.
Одна из главных заслуг Аллена Барда - создание в конце 1980-х сканирующего электрохимического микроскопа, который используется в исследованиях на молекулярном уровне каталитических реакций. Это дает фундаментальную основу для осмысленного подбора катализаторов, который до сих пор чаще всего проводился (да и проводится) методом тыка. Сейчас группа Барда использует электрохимический микроскоп в поиске новых катализаторов для топливных элементов. Во многих современных прототипах топливных элементов катализаторами выступают дорогостоящие платиноиды. По словам Барда, их группа уже обнаружила более дешевые и не уступающие по эффективности катализаторы, не содержащие платину. Кроме того, техасская команда занимается поиском катализаторов, способствующих разложению воды под действием энергии солнечного света для получения чистого водорода. Микроскоп Барда вполне пригоден и для биохимических исследований. Например, с его помощью проводится идентификация опухолевых клеток и исследуются механизмы диффузии лекарственных препаратов сквозь кожный покров человека. ЕГ